使用470監(jiān)測半導(dǎo)體濕式工作臺中的溶解臭氧濃度

臭氧是一種多功能氧化劑，通常用于半導(dǎo)體濕式工作臺的清潔，顆粒和光刻膠去除。在這些應(yīng)用中使用臭氧有幾個優(yōu)點，包括:減少有害化學(xué)品的使用，如氫氟酸，更大限度地減少在上述過程中使用的典型化學(xué)廢物，提高清潔和效率。隨著半導(dǎo)體晶圓結(jié)構(gòu)復(fù)雜性的增加，臭氧的使用將繼續(xù)在這些晶圓的制造過程中發(fā)揮重要作用。為了充分發(fā)揮其潛在優(yōu)勢，重要的是能夠測量過程中存在或注入的臭氧濃度。因此，需要在線臭氧濃度監(jiān)測器來仔細(xì)控制液體中溶解臭氧的量。

Teledyne API (TAPI) 470溶解臭氧分析儀非常適合這一要求，因為它的設(shè)計考慮到了半導(dǎo)體市場的需求。

圖1:470型溶解臭氧分析儀

直列式傳感器

470的設(shè)計是一種直列式傳感器，只需很少的維護，可以無縫集成到濕式工作臺系統(tǒng)中。

在線監(jiān)測溶解臭氧濃度是首選的測量方法，而不是滑動流或側(cè)流監(jiān)測?；屏骰騻?cè)流監(jiān)測需要額外的閥門、管道和傳感器，這些閥門、管道和傳感器可能會在濕式實驗臺系統(tǒng)中故障或產(chǎn)生其他問題，例如接收到的濃度測量不能代表工藝液體。通過在線監(jiān)測，您總能獲得工藝液體中溶解臭氧濃度的真實測量值。監(jiān)視器也可以很容易地拼接到現(xiàn)有系統(tǒng)中。由于濕式工作臺臭氧包括工藝需要特定水平的臭氧，因此使用在線傳感器非常重要。圖2顯示了帶有臭氧發(fā)生器和監(jiān)視器的半導(dǎo)體濕式工作臺示例。

圖2:帶TAPI臭氧儀器的濕式實驗臺系統(tǒng)

零維護

由于其創(chuàng)新的傳感技術(shù)，470不需要維護，以保持傳感器運行在更佳性能。在濕式工作臺系統(tǒng)的定期預(yù)防性維護期間，每2-3年可以對傳感器和UV燈進(jìn)行周期性調(diào)零。還包括吹掃端口，以避免電子設(shè)備所在區(qū)域內(nèi)的冷凝，以幫助確保傳感器在濕式工作臺的壽命內(nèi)運行。

輕松集成

為了集成到濕式工作臺系統(tǒng)中，470提供了幾種輸出方法，可以直接連接到PLC, PC或集成設(shè)備。如果首選模擬輸出，在購買時可以選擇0-5V dc或4- 20ma輸出。對于需要數(shù)字接口的系統(tǒng)，470可以通過RS232或RS485進(jìn)行通信。470還可以連接到TAPI的SCI-552，以增強或創(chuàng)建完整的臭氧傳輸系統(tǒng)。四個額外的數(shù)字狀態(tài)輸出包括:傳感器正常狀態(tài)，無效讀數(shù)，燈低和電池臟。

通過多種通信方式，更少的維護和在線設(shè)計，470是增強濕式工作臺系統(tǒng)的完美選擇，具有溶解臭氧的所有優(yōu)點。請記住，臭氧可以幫助減少或省略有害化學(xué)物質(zhì)的使用，節(jié)省處理和處理它們所需的時間和金錢。臭氧還可以增強濕法工藝，與硫酸或氫氟酸相比，臭氧對環(huán)境更友好。